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IPM半導體中度嚴苛系列

用途：Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho 、Implant

特點：

  1. 綠色製造、全新系列幹式真空泵

  2. 體積小、耗工低、大幅度降低本钱

  3. 用於中度嚴苛制程的節能泵


規格型號

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